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反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题,犹如两座必须翻越的冰山。
苏定平深深明白,即便龙心实验室掌握了核心工艺,也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
这太奢侈了!
拿著那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册,以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片,苏定平带著技术转让意向书,亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
所长郑玉,一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员,亲自在研究所门口迎接。
他知道苏定平现在在做的事情,更清楚龙心实验室目前顶著多大的压力。
会议室内,苏定平没有客套,直接将图纸和样品推了过去。
「郑所长,龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破,这是工艺图纸和试验样品的数据报告。」
郑玉一开始神情凝重。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸,戴上老花镜,他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份,拿著图纸的手就猛地一抖!眼神陡然锐利得像探照灯,死死盯著图纸上「离子束原子级刻蚀」、「动态补偿模型」的字眼和结构图。
紧接著,目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
「温度场梯度驱动原子吸附」、「分子级脉冲阀门时序控制」……他的呼吸陡然变得粗重起来!
「这……这图纸……」
郑玉猛地抬起头,眼神直勾勾盯著苏定平,声音带著激动和难以置信的颤抖。
「苏总工!你们……你们这是怎么搞出来的?这思路……这工艺!完全是颠覆性的!跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念!还有这ALD工艺的改进点,简直神了!」
他放下图纸,几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片,对著光仔细查看那光滑如无物般的表面。
「你们抛光的面型精度……」
「实测RMS误差0.078nm,首批试验片全部在这个数值区间。」
苏定平沉声道。
郑玉倒吸一口冷气!
他又扑到一旁的检测仪器前,不顾身份地亲自操作,将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条